Elektronenstrahlquellen

Als einziges Institus des Fraunhofer-Verbunds Light & Surfaces entwickelt das Fraunhofer FEP Elektronenstrahl-Quellen für unterschiedlichste Anwendungen und Problemstellungen. Das Leistungsangebot geht dabei von der Technologie- und Prozessentwicklung bis zur Zusammenstellung kompletter Paketlösungen inklusive Technologietransfer.

Das Leistungsangebot umfasst:

• Technologietransfer und Inbetriebnahme der Prozesse in der Produktion
• Technologietransfer einschließlich Ausstattung von Anlagen mit Schlüsselkomponenten (auch Retro-fit bestehender Anlagen)
• Aufskalierung von Prozessen und Technologien für Industrieanlagen
• Erstellung kompletter Paketlösungen inklusive Strahlsteuerung, Arcschutz-Beschaltung, Leistungs-, Strahllage- und Ablenkgeneratoren
• Anpassung der Elektronenstrahlquelle an spezielle Kundenanforderungen und Entwicklung von Sonderlösungen
• Bereitstellung, Integration und Anpassung optionaler Zusatzkomponenten wie z. B.:
• Portables Handpult zur Fernbedienung der Elektronenstrahlquelle
• Verdampfer-Tiegellösungen
• Statisches, magnetisches Strahl-Umlenkfeld
• Plasmaaktivierungssysteme
• Substratvorbehandlungseinrichtungen
• Substratbias-Stromversorgungen
• Reaktivgassysteme
• Rate-Monitor