Elektronenstrahlquellen

Als einziges Institus des Fraunhofer-Verbunds Light & Surfaces entwickelt das Fraunhofer FEP Elektronenstrahl-Quellen für unterschiedlichste Anwendungen und Problemstellungen. Das Leistungsangebot geht dabei von der Technologie- und Prozessentwicklung bis zur Zusammenstellung kompletter Paketlösungen inklusive Technologietransfer.

Das Leistungsangebot umfasst:

  • Technologietransfer und Inbetriebnahme der Prozesse in der Produktion
  • Technologietransfer einschließlich Ausstattung von Anlagen mit Schlüsselkomponenten (auch Retro-fit bestehender Anlagen)
  • Aufskalierung von Prozessen und Technologien für Industrieanlagen
  • Erstellung kompletter Paketlösungen inklusive Strahlsteuerung, Arcschutz-Beschaltung, Leistungs-, Strahllage- und Ablenkgeneratoren
  • Anpassung der Elektronenstrahlquelle an spezielle Kundenanforderungen und Entwicklung von Sonderlösungen
  • Bereitstellung, Integration und Anpassung optionaler Zusatzkomponenten wie z. B.:
  • Portables Handpult zur Fernbedienung der Elektronenstrahlquelle
  • Verdampfer-Tiegellösungen
  • Statisches, magnetisches Strahl-Umlenkfeld
  • Plasmaaktivierungssysteme
  • Substratvorbehandlungseinrichtungen
  • Substratbias-Stromversorgungen
  • Reaktivgassysteme
  • Rate-Monitor
Universa - Versuchsanlage zur 3D-Beschichtung mittels Puls-Magnetron-Sputtern.
© Fraunhofer FEP

Universa - Versuchsanlage zur 3D-Beschichtung mittels Puls-Magnetron-Sputtern.

Ihre Ansprechpartner an den Instituten sind:

Contact Press / Media

Dipl.-Phys. Frank-Holm Rögner

Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Winterbergstr. 28
01277 Dresden

Telefon +49 351 2586-242

Fax +49 351 2586-55242