PVD-Beschichtung

Lineare Gasfluss-Sputterquelle während der Schichtabscheidung.
© Fraunhofer IST, Jan Benz

Lineare Gasfluss-Sputterquelle während der Schichtabscheidung.

Reaktive Arc-Beschichtung.
© Fraunhofer IWS Dresden

Reaktive Arc-Beschichtung.

Die Institute des Fraunhofer-Verbunds Light & Surfaces verfügen über ein breites Spektrum an Beschichtungsverfahren. Die physikalische Gasphasenabscheidung (Physical Vapour Deposition - PVD) und hier insbesondere das Magnetronsputtern, sowie das Hohlkathodenverfahren, sind zentrale Technologien des Fraunhofer IST und des Fraunhofer FEP zur Herstellung von unterschiedlichsten Beschichtungen. 

Physikalische Dampfabscheidung (PVD)

Ebenso wird die physikalische Dampfabscheidung (PVD) zur Beschichtung von Bau- und Kleinteilen als Massengut genutzt. Am Fraunhofer FEP steht hierfür die Gruppe „Beschichtung von Bauteilen“ für die Verfahrens- und Technologieentwicklung zur Verfügung.

Verfahren der physikalischen Dampfphasenabscheidung erlauben die Abscheidung hochwertiger tribologischer und funktioneller Schichten im Dickenbereich von wenigen Nanometern bis zu einigen zehn Mikrometern. Dazu stehen am Fraunhofer IWS Verfahren von der Hochrate-Bedampfung bis hin zu hochaktivierten Plasmaverfahren, sowie deren Kombinationen, zur Verfügung. Einen besonderen Schwerpunkt bildet die umfassende Nutzung von Bogenentladungen als die effektivste Quelle energiereicher Dampfstrahlen.

Ihre Ansprechpartner an den Instituten sind:

Contact Press / Media

Prof. Dr. Norbert Kaiser

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Albert-Einstein-Str. 7
07745 Jena

Telefon +49 3641 807-321

Fax +49 3641 807-601

Contact Press / Media

Dr. Michael Vergöhl

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Bienroder Weg 54 e
38108 Braunschweig

Telefon +49 531 2155-640

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Prof. Dr. Andreas Leson

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Winterbergstr. 28
01277 Dresden

Telefon +49 351 83391-3317

Fax +49 351 83391-3314

Contact Press / Media

Dr. Torsten Kopte

Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Winterbergstr. 28
01277 Dresden

Telefon +49 351 2586-120

Fax +49 351 2586-55120