Prozessierung großflächiger Substrate in der LED-Lithographieanlage
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Prozessierung großflächiger Substrate in der LED-Lithographieanlage.

Optische Systeme und Optikfertigung

Ein Kernelement des Fraunhofer-Verbunds Light & Surfaces ist die Entwicklung optischer Systeme für eine Vielzahl von Anwendungen in der Lasertechnik, der Messtechnik, der Beleuchtungstechnik und in der Materialanalytik. Neben dem Design und der Fertigung optischer Komponenten bieten die Institute des Fraunhofer-Verbunds Light & Surfaces die gesamte Kette zur Herstellung optischer Systeme an. Dabei werden kundenspezifische Optiksysteme vom Prototypen bis hin zum fertigen Produkt entwickelt und gefertigt. In ausführlichen Entwicklungs- und Testphasen werden diese bis zur Serienintegration untersucht und evaluiert. Entsprechende Test- und Prüfstände zur Analyse der optischen Funktionalität sind an den Instituten vorhanden.

Die Optikentwicklungen decken dabei nicht nur die Gesamtsystemtechnik ab, sondern adressieren auch einzelne Fertigungsschritte, wie z.B. die Herstellung von Linsen und Spiegeln, sowie die Beschichtungstechnik für unterschiedliche Wellenlängenbereiche, vom Röntgen bis zum fernen Infrarot. So werden beispielsweise für Weltraumanwendungen hochpräzise Spiegelsysteme für verschiedenste Anwendungen und Wellenlängenbereiche hergestellt und Strahlform- und Umlenkspiegel für die EUV-Lithographie des Lithographiebereichs entwickelt und charakterisiert.

Für die Fertigung von Optiken und optischen Komponenten stehen in den Instituten des Fraunhofer-Verbunds Light & Surfaces verschiedene Verfahren zur Formgebung und Beschichtungstechnik zur Verfügung. Das Spektrum reicht dabei von der Ultrapräzisionsbearbeitung für die Herstellung von Metallspiegeln, Gittern und kunststoffbasierten Linsen und Linsenarrays, über die Replikation optischer Elemente in der Massenproduktion, bis hin zu Spritzgusstechniken und Abformverfahren.

 

Optikdesign

 

Optikfertigung

 

Optische Systeme

 

Optikmontage