Hannover Messe 2018

Interferenzfilter hergestellt mit dem Sputtersystem EOSS® auf der Hannover Messe

Fraunhofer-Verbund Light and Surfaces /

Die Optimierung und Wirtschaftlichkeit von Beschichtungsprozessen rückt zunehmend in den Fokus der Industrie. Die Spezifikationen der spektralen Eigenschaften sowie geringste Schichtdickenabweichungen und Toleranzen bei höchster Uniformität der Beschichtungen bestimmen die Optimierung.

Optischer Filter mit einem Durchmesser von 20 mm und einer optischen Dichte von 6. Oben: Reflexion, unter: Transmission.
© Fraunhofer IST
Optischer Filter mit einem Durchmesser von 20 mm und einer optischen Dichte von 6. Oben: Reflexion, unter: Transmission.

Mit dem am Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST entwickelten innovativen Sputtersystem EOSS® (Enhanced Optical Sputtering System) können neben sehr defektarmen Beschichtungen auch hochkomplizierte Schichtdesigns bei extremer Präzision und Uniformität mit einer hohen Prozesssicherheit hergestellt werden. Zudem können in der kommerziell verfügbaren Anlage bis zu zehn Substrate mit einem Durchmesser von 200 mm gleichzeitig beschichtet werden.

Auf der Hannover Messe präsentiert das Fraunhofer IST einen mit dem EOSS® hergestellten ultrapräzisen optischen Interferenzfilter.

Fraunhofer-Verbund Light & Surfaces auf der Hannover Messe 2018

Mehr über die Verbundaktivitäten zu Oberflächentechnik und Photonik und den aktuellen Entwicklungsstand erfahren Besucher auf der Hannover Messe 2018 vom 23.04.-27.04.18 in Hannover auf dem Fraunhofer-Gemeinschaftsstand A30 in Halle 6 Digital Factory.