Mikro- und Nanotechnologien

Die Erzeugung und Replikation optischer Mikro- und Nanostrukturen ist Grundlage für moderne komplexe optische Systeme. Die im Verbund vorhandene technologische Basis wie z.B. Laserlithographie, Elektronenstrahllithographie und reaktives Ionenätzen erlaubt die Fertigung und Charakterisierung von High-End mikro- und nanooptischen Elementen höchster Auflösung auf bis zu 12“-Substraten, auch auf gekrümmten Oberflächen.

Ihre Ansprechpartner an den Instituten sind:

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Dr. rer. nat. Andreas Bräuer

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Albert-Einstein-Str. 7
07745 Jena

Telefon +49 3641 807-404

Fax +49 3641 807-603

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Dr. rer. nat. Ernst-Bernhard Kley

Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Albert-Einstein-Str. 7
07745 Jena

Telefon +49 3641 947-830

Fax +49 3641 807-603

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Dr.-Ing. Arnold Gillner

Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT
Steinbachstr. 15
52074 Aachen

Telefon +49 241 8906-148

Fax +49 241 8906-121

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Dr. Gösta Mattausch

Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP FEP
Winterbergstr. 28
01277 Dresden

Telefon +49 351 2586-202

Fax +49 351 2586-55202

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Dr.-Ing. Saskia  Biehl

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Bienroder Weg 54 e
38108 Braunschweig

Telefon +49 531 2155-604

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Dr. Udo Klotzbach

Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Winterbergstr. 28
01277 Dresden

Telefon +49 351 83391-3252

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Dr. Harald Böttner

Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Heidenhofstr. 8
79110 Freiburg

Telefon +49 761 8857-121

Fax +49 761 8857-224